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产品名称: 日本asahi-rika气体置换炉
产品型号: ARF-151-135-III
产品展商: asahi-rika
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简单介绍
日本asahi-rika气体置换炉
ARF-151-135-III
ARF-150
日本asahi-rika气体置换炉
的详细介绍
日本asahi-rika气体置换炉
ARF-151-135-III
ARF-150
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格式
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ARF-151-135-III 型
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样品尺寸
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25个4英寸晶圆：1个充电×
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芯管尺寸
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IDφ135×1400mmL×2式
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工作范围温度
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室温+100°C~1000°C
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高温度
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1200°C °
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热带均匀长度
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±5°C 中央部分 350mm
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加热器区
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φ180 250×350×250mmL
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电力容量
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单相 AC200V 5.5Kw
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格式
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ARF-150 型
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样品尺寸
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3 英寸晶圆可用
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炉数
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[IDφ93×1根]
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工作范围温度
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室温+100°C~1100°C
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高温度
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1200°C °
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加热时间
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常温~1100°C~约60分钟
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加热器
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三区式，坎塔尔线
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石英燃烧管
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[IDφ93×1200L]
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气体类型
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氧气、氮气、氢气和氩气
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