日本MEIRITSU/明立精机 除振装置

技术与实绩闪耀的明亮空气弹簧除振系统

从显微镜和激光应用技术到半导体制造和检测设备，我们采用了空气弹簧系统，该系统在各个领域都拥有丰富的经验。 确保在从几 Hz 到数百 Hz 的宽频段上实现出色的除振性能。 此外，即使在空气供应停止的情况下，空气弹簧底部的防振橡胶也能保护设备的机构。

多功能单元类型

当集成到设备中时，除震系统的安装空间必须较小。 AP 系列是一种单元类型，将空气弹簧和控制空气弹簧的高灵敏度水平保持传感器紧凑地组合在一起。 无需对设备进行重大规格更改即可安装，从而获得高除振性能。

总高度为185mm，统一（浮起时）

所有除震系统均统一，总高度为 185 mm。 即使由于设计变更而使搭载设备质量增加或减少，也无需改变装置的总高度即可应对。

覆盖广泛的安装质量

需要除震的精密仪器的种类和用途逐年多样化。 AP-80 至 380 提供 11 种产品，可满足精密仪器的质量要求，适用于数百公斤至 10 吨的大型精密仪器。

也可处理洁净室

在高水平洁净室中使用时，可更换为洁净室液位保持传感器，允许集中排气空气。 

对移动载荷的高响应性

在工件的移动、基板等的交接、自动加工和测量机的动作中，负荷总是随着负荷的变化而变化，在用作为弹性体的空气弹簧进行支撑时，位置再现性变得非常重要。 AP 系列标配明立独特的高灵敏度水平保持传感器，用于空气弹簧控制，实现垂直恢复精度± 200μm。 此外，随着近年来工件的高速化，安装板的晃动成为问题。 可选的两级传感器可缩短摆动收敛时间，恢复精度± 100μm 和无源除振系统可将移动负载响应提升